CXT2667超低四探針方阻測試儀

產(chǎn)品信息：

CXT2667四探針測試儀是一款采用雙電測-改進(jìn)型范德堡法測試電阻率/方阻的具有超低電阻測試功能的多用途綜合測量儀器。尤其適用于超低阻值材料的測試。該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。儀器運(yùn)用雙電測原理，進(jìn)行多次測量，自動消減樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提高測量精度和一致性。

應(yīng)用：
儀器具有10-7 歐姆的超低分辨率，尤其適合金屬片、炭素等導(dǎo)體的超低電阻/電阻率的測試。儀器同時(shí)也適用于半導(dǎo)體材料廠、器件廠、科研單位、高等院校等研究生產(chǎn)單位對導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體材料、器件的導(dǎo)電性能的測試，滿足對材料(棒材、片材等)的電阻率及擴(kuò)散層、離子注入層、異型外延層和導(dǎo)電薄膜、各種金屬箔、銀漿涂層、鋰電池隔膜等各種新型電子薄膜等導(dǎo)電材料的電阻/方阻/電阻率的測試需要。

性能特點(diǎn)：
1、32位核心處理器，雙電測測試模式，測量精度高、穩(wěn)定性好
2、4.3英寸彩色液晶屏可同時(shí)顯示電阻、電阻率、方阻；也可單獨(dú)顯示，直觀清晰
3、精度高：電阻基本精度：0.05％ 方阻基本精度：3 ％ 電阻率：3 ％
4、測量范圍寬： 電阻：10-7Ω－106Ω
方阻：10-7Ω/□－106Ω/□
電阻率：10-7Ω.cm－106Ω.cm
5、電阻 小分辨: 0.1uΩ，可測量金屬箔等超低阻材料
6、可手動或自動選擇測試量程
7、雙電測模式修正探針游移，提高方阻測試精度
8、材料厚度等參數(shù)可預(yù)設(shè)，自動修正樣品電阻率，無需查表
9、全量程自動清零功能
10、可預(yù)置標(biāo)準(zhǔn)值，儀器可顯示直讀、偏差
11、3檔分選功能，1檔合格,1檔超上限,1檔超下限
12、具備溫度補(bǔ)償功能，修正被測材料溫漂帶來的測試結(jié)果偏差
13、RS232C、USB口實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制
14、U盤可記錄測試數(shù)據(jù)
15、適合各種測試探頭，可測多種材料和參數(shù)

技術(shù)指標(biāo)：

成套組成：
由CXT2667主機(jī)、選配的四探針探頭、測試臺及選配上位機(jī)軟件等組成。

探頭選型指南：
根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭，以測試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）或納米涂層等材料的電阻率/方阻。
由于新型薄膜材料種類繁多，研制過程中樣品性能變化較大，而且各種薄膜的機(jī)械強(qiáng)度，允許承受的電壓、電流均不相同，因此該儀器可為用戶量身定制各種特定探針壓力及曲率半徑的探針頭。根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。詳細(xì)請見探頭選型表。

探頭選型表：

標(biāo)準(zhǔn)配件：

可選配件：